煤矿用碳分子筛制氮设备 ,井下专用制氮机采用不等势均压流程(RL-VI型流程，*号: ZL99101651.3)，该流程对下均压位置作了改进。均压时，均压气体从吸附结束的吸附塔中部，引出进入脱附结束的吸附塔底部，按照吸附塔内氮气纯度的倒金字塔梯度分布特点进行均压， 这样提高了氮气回收率和碳分子筛利用率，改变了利用变压吸附不能制取高纯氮气(99.9995%N2)的历史。