装置采用化学吸收脱氧技术脱除气体中的氧杂质，获取高纯气体。 

它适用于原料气体纯度≥99.9%的气体。通常为深冷空分氧气站产出的污氮气体进行进一步脱氧处理，获取高纯（99.9995%～99.9999%N2）氮气，或者深冷空分制氮设备经多年使用后，产出氮气纯度下降，需要进一步脱氧纯化处理，获取高纯氮气。 

由于本纯化装置采用新颖的并联再生——串联工作独特工艺过程，解决了由于催化剂具有的“溶氢”特性而造成氢气污染气体产品的难题，实现高纯气体产品中含氧、氢杂质量均小于1ppm的指标，同时达到既节能又降低纯化运行成本，同样本装置也适用于NCHa型气体纯化装置的气体种类范围。